电子级氯化氢是特种气体的一个重要分支
发布时间:2023-11-02 16:50:00
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电子级氯化氢广泛应用于半导体、微电子及相关太阳能电池等高科技行业,或用于薄膜沉积、蚀刻、掺杂、钝化、清洗,或作为载气、保护气氛等。
什么是电子气?所谓电子气体,顾名思义,就是用于电子产品制造的气体。主要指半导体制造中使用的气体。按其类别可分为纯气体、高纯气体和半导体特殊材料气体三类。特殊材料气体主要用于外延、掺杂和刻蚀工艺;高纯气体主要用作稀释气体和载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子级
氯化氢根据纯度等级和使用场合可分为电子级、LSI(大规模集成电路)级、VLSI(超大规模集成电路)级和ULSI(超大规模集成电路)级。