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氯化氢企业安全保障规范介绍
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氯化氢企业安全保障规范介绍

发布时间:2019-09-27 14:56:27 打印

   氯化氢作为半导体材料中的应用元素,在半导体晶圆代工厂中的出现频率是较高的,那么作为半导体晶圆代工厂气体的使用者,每一位工作人员都应该在使用前对各种危险气体的安全数据加以了解,并且应该知道如何应对这些气体外泄时的紧急处理程序。

   一般来讲,我们将有三重保障来防范万一有意外发生的危险气体外泄进入到工作环境中。一个是特种气体的气瓶以及全部经过正负压测漏的气体输送管路;第二个是持续不断的排气抽风系统(Exhaust),管路节点如气瓶柜、VMB、工作台等均具有很强排气抽风系统,以确保每一管路节点外围都处于负压环境。若发生微量的有毒气体的泄漏,排气抽风系统将第一时间抽出;另外一个很重要的是处于抽风口或环境点的毒性气体侦测器系统,若发生任何有毒气体的泄漏将会被气体侦测系统所侦测到,这个控制系统将根据气体外泄对人体危害的大小来确定整个气体输送系统的相关互锁动作,严重时紧急关闭上游所有气源,同时会驱动中央控制室和现场的相关报警系统LAU,甚至会驱动全厂的自动语音广播系统通知立即疏散,要求相关人员迅速撤离报警区域。因此只要工程技术人员严格按照所制定的标准作业程序操作,所有这些安全装置都将确保人员不会有安全上的顾虑。

   其他氯化氢相关企业同样需要注意以上安全保障规范,以保障企业安全生产。

   以上内容由山东言赫为您提供,要是您对氯化氢还有什么疑问,欢迎您随时来电与我们交流15615637878。

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